「基板加熱ヒーター」
■セラミック・トップ・ヒーター■SHシリーズ 基板加熱ヒーター■BHシリーズ 基板加熱ヒーター■ホットステージ「基板加熱機構」■QLD ランプ加熱ヒーターユニット
「超高温実験炉」
■超高温小型実験炉 Max2900℃■MiniLab-WCF/WMF 実験炉 2200℃■ANNEAL 卓上型ウエハアニール装置 ■Solaris100 卓上型高速アニール装置■Mini-BENCH 超高温小型卓上実験炉■小型縦型 管状炉 TVF-110
「薄膜実験装置」
■MiniLab フレキシブル薄膜実験装置■MiniLab グローブボックス薄膜装置■nanoCVD-WPGウエハースケールグラフェン合成装置■nanoCVD 卓上型グラフェン合成装置■nanoPVD-S10A 卓上型スパッタ装置■nanoPVD-T15A 卓上型 有機膜・金属膜蒸着装置■nanoETCH 卓上型エッチング装置■nanoEM 高真空EMコーティング装置■nanofurnace 卓上型熱CVD装置■PLD-1000 PLD成膜装置
「真空部品・コンポーネンツ」
■MAG seriesマグネトロンカソード■LTE 有機蒸着源■スパッタリングターゲット■真空導入端子■SIC3 コーティング
「温度計測機器」
■PyroCouple 赤外線温度センサ■PyroMini 赤外線温度センサ■PyroUSB 赤外線温度センサ■PyroMini USB 赤外線温度センサ■ExTemp 本質安全防爆赤外線センサ■FiberMini 赤外線温度センサ■PyroNFC 赤外線温度センサ■VTC 真空用熱電対
「カスタムメイド装置」
■真空装置製作事例を掲載
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