卓上型・コンパクトなサイズの高性能「有機膜・金属膜蒸着」装置です。温度応答性、安定性、再現性に優れたMoorfield社独自の有機蒸着源「LTE1」、金属材料蒸着源「TE1-Boxシールド型」を採用。OLED, OPV, OTFT等の有機薄膜蒸着用、金属材料蒸着に最適。金属用x2源、有機蒸着源x最大4源まで搭載可能、多層連続成膜・同時成膜も可能な多機能装置。研究開発の現場での様々なご要求に対応致します。

● 到達真空度 5x10-5 Pascal
● SUS304 高真空チャンバー
● 素早い真空到達（1x10-3Paまで約10分）
● 上下昇降・回転・加熱機構（*オプション）

● るつぼ：アルミナ、又は石英 1cc（標準）
● Kタイプ熱電対付属、水冷式、シャッター（オプション）
● 低温600℃以下での高精度温度制御±1℃
● 蒸着レート：0.1Å/s
● 面内膜厚分布（Φ4inch）：±5%以内（*材料、プロセス条件による）

● ソース材料交換が容易。着脱式ボックスシールド
● W（又はMo, Ta）製加熱フィラメント
● ボート、るつぼ、又はロッド式いずれも可能
● 電流容量：400〜1000A
● 水冷式

● 直感的操作
● 全ての設定を7"タッチパネルで一元管理
● USBでWindows PC接続、CSV・ログデータ出力
● 最大1000Layer, 1000process, 50レシピ作成登録