【テルモセラ・ジャパン】研究開発用機器：超高温真空ヒーター - 超高温小型実験炉 - 薄膜実験装置

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■製造販売中止のお知らせ■ update: 2022.4.11

『真空用熱電対 VTCシリーズ』

この度、「真空用熱電対 VTCシリーズ」につきまして、諸般の事情により製造販売を中止させていただくことになりましたのでご案内申し上げます。
LinkIcon 製造販売中止のお知らせ.pdf

■IntelliLink（インテリリンク）■ update: 2021.5.4

nanoPVD卓上型薄膜実験装置用リモート管理ソフト「IntelliLink」をリリースしました。

nanoPVD-S10A マグネトロンスパッタリング装置、nanoPVD-T15A 有機膜・金属膜蒸着装置に、専用のリモート管理ソフト「インテリリンク」をリリース。
装置付属の7"タッチパネルで装置運転・成膜制御までを一元管理できる制御プログラム「IntelliDep」に加え、さらにIntelliLinkによりWindows PCでリモート管理が可能となりました。
IntelliLinkにより、装置の主制御（電源起動〜真空引き〜ベント、インターロックシステム監視）を除く全ての操作がPCから可能となります。

■当社製品広告が掲載されました■ update: 2020.7.3

応用物理学会機関紙「応用物理」：『Vol.89-No.7』

LinkIcon 応用物理学会へのリンク

■マグネトロンスパッタリングカソード■ update 2020.4.7

スパッリング装置用マグネトロンカソード
Φ2inch〜Φ4inch RF, DC両用高機能マグネトロン

Moorfield Nanotechnology社製高性能・ハイコストパフォーマンスマグネトロンソース

● Φ2inchからΦ4inchサイズまでカバー

● イージーメンテナンス・ターゲットの交換が容易

● ICF, ISOフランジ接続タイプも用意

● シャッター、ガスインジェクション等のオプションにも対応

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MAG series マグネトロンスパッタリングカソード

■スパッタリングターゲット■ update 2020.3.31

スパッリング用高純度ターゲット材料
Φ1inchサイズからご要望の材質のターゲット材に対応致します。

【対応材料事例】

● Al, Ag, Au, Cu, Ni, Pt, Sn

● ZnO, SiO2

etc..

研究開発用薄膜装置メーカーであるMoorfield Nanotechnology社（英）の長年のプロセス経験より、最適・安価な材料をご提供致します。

まずは、当社までご要望をお聞かせください。

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スパッタリングターゲット

2019.9.18	JSAP Expo Autumn2019（第80回応用物理学会秋季学術講演会）第80回応用物理学会秋季学術講演会企業展示会出展、及び会場スポンサー参加北海道大学札幌キャンパス企業ブース出展、会場スポンサー参加（E206会場、B11会場） *多数の皆様にご来場いただき御礼申し上げます。
2018.12.3	プラズマ・核融合学会第35回年会 "Plasma Expo 2018"スポンサー参加 http://www.jspf.or.jp/jspf_annual2018/ 会期：2018年12月3日〜6日会場：大阪大学吹田キャンパスコンベンションセンター
2018.11.19	日本表面真空学会学術講演会企業展示会出展 https://www.jvss.jp/annual/mtg2018/ 会期：2018年11月19日〜21日（展示は19, 20日のみ）場所：神戸国際会議場
2018.11.12	AAPPS-DPP2018 "第2回アジア太平洋プラズマ物理学国際会議"スポンサー参加 http://www.aappsdpp.org/DPP2018/ 会期：2018年11月12日〜16日（展示は13〜15日のみ）会場：金沢商工会議所（JR金沢駅より徒歩20分、バス5分）当社協賛会場：401室（Applied Plasma, Basic Plasma)
2018.9.18	JSAP Expo Autumn2018（第79回応用物理学会秋季学術講演会企業展示会出展、及び会場スポンサー参加名古屋国際会議場イベントホール（展示）名古屋国際会議場146講演会場（146 III-V族窒化物結晶）多数の皆様にご来場いただき御礼申し上げます。
2018.3.20	JSAP Expo Spring2018（第65回応用物理学会春季学術講演会）会場スポンサー参加会期：2018年3月17日（土）〜3月20日（火）早稲田大学西早稲田キャンパス 57号館
2017.11.27	JCCG-46（第46回結晶成長国内会議）出展
2017.9.8	JSAP EXPO 2017 Autumn@福岡国際会議場出展第77回応用物理学会秋季学術講演会付設展示会
2017.7.5	第14回スパッタリング&プラズマプロセス国際会議（ISSP2017）金沢工業大学扇が丘キャンパス
2016.12.1	プラズマ・核融合学会年会展示会『Plasma Expo2017』ご来場御礼東北大学青葉山キャンパス「カタールサイエンスホール」（2016.11.29〜12.1）
2016.8.8	JSAP EXPO 2016 Autumn出展会期：2016年9月13日（火）13:00〜9月16日（金）場所：朱鷺メッセ展示ホール
2015.9.11	JSAP EXPO 2015 Autumn出展会期：2015年9月13日（日）13:00〜9月16日（水）15:30 場所：名古屋国際会議場イベントホールPA 小間No.AV-13
2015.3.10	JSAP EXPO 2015 Spring出展会期：2015年3月11日（水）〜3月14日（土）場所：東海大学湘南キャンパス（平塚市北金目4-1-1）
2014.11.21	PCOS『相変化研究会シンポジウム』パネル出展会期：2014年12月4日（木）〜12月5日（金）場所：浜名湖ロイヤルホテル（浜松市西区雄踏町山崎4396-1）
2014.11.21	【SEMICON JAPAN 2014】（株）アークステーション様ブースにて出展会期：2014年12月3日（水）～12月5日（金）10:00〜17:00 場所：東京ビックサイト
2014.9.22	JSAP EXPO 2014 Autumn 第75回応用物理学会学術講演会付設展示会（2014年9月17日〜20日）
2014.03.06	「ICPlasma/IC Plants2014」名城大学天白キャンパス
2013.11.28	【2013年真空・表面科学合同講演会/第33回表面科学学術講演会第54回真空に関する連合講演会】