小型縦型実験炉 | Thermocera Japan Ltd.

小型縦型実験炉 TVF-110

小片試料〜3inch waferまでの小基板用手動昇降式縦型実験炉

◉ ローコスト必要最小限の構成（手動制御）管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用可能です。


	主な用途大学・企業研究室での小片試料基礎実験用途半導体・太陽電池・燃料電池・電子基板等の熱処理基礎実験：酸化拡散炉・LPCVD等の簡易熱処理実験

縦型炉,拡散炉,CVD

小型縦型実験炉 TVF-110

　　　　

特徴

ユーザフレンドリー, 簡単手動操作
シンプル構成基礎実験用途に最適
ローコスト・必要最小仕様での装置ご提案が可能
ご要望により機能追加可能都度カスタマイズに対応致します。

※ 標準では炉体（サセプタ, 上下昇降機構含む）, 温度制御部のみとなります。
※ ガス導入・排気系, ガス圧力制御, 冷却水制御等は含みません。ご要望により追加致します。

主仕様

【電気炉部】

最高使用温度	Max1200℃（*ヒーター温度, 常用Max1100℃） Max950℃（基板温度）
ヒーター	カンタルヒーター 1ゾーン式 1.5KW
炉体	セラミック成型品 Φ290 x 300L（二つ割式）
ケース	アルミケース開閉式
熱電対	制御用, 過昇温検知：Kタイプシース熱電対（2対式）
測温用熱電対	Φ0.65mm K 素線タイプ絶縁管付 1500L
温度制御	PID温度調節計サイリスタ制御

【炉芯管・石英治具部】

炉芯管	Φ100 x Φ95 x 470L mm
バッファー	234H x Φ86遮蔽板 x 2層
サセプタ	Φ86 x t5 mm（上下ロッド付） x 2〜3段
熱電対保護管	Φ8 x Φ6 x 660L mm

【サセプタ・ベースフランジ上下昇降】

駆動方式	手動式（回転ハンドル）
ストローク	Max300mm（サセプタ） Max500mm（ベースフランジ）停止位置目盛付, 任意上下停止位置クランパー付


	外形図

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