MiniLab-WCF/WMF/WCCF ウエハー焼成炉 | Thermocera Japan Ltd.

MiniLab-WCF/WMF ウエハーアニール炉 Max2200℃

面状ウエハー加熱ヒーター（ウエハー焼成用）

2inch〜8inch高純度グラファイトヒーター（又はC/Cコンポジット）
安全運転・簡単操作・セミオート運転により作業者レベルを問いません


	概要 2〜8inchウエハー高温焼成専用機コンパクトサイズ・簡単操作 2200℃まで急速昇温！ SiC・GaNデバイス基礎研究、新素材・新材料開発、及びその他先端基礎技術開発部門で活用いただけます。

MiniLab-WCF/WMF実験炉

MiniLab-WCF-Φ8inch-HT外観


	特徴試料サイズ標準φ2inch〜φ8inch（*特殊サイズ対応致します）特注ウエハーホルダ（ウエハートレー）製作可能急速昇温 SingleもしくはDual Zone（2ゾーン）ヒーター制御による均一な焼成


	装置ラインナップ

外径寸法、重量（*MiniLab-WCF-Φ8inch-HT参考値）

1,125(W) x 590(D) x 1,160(H)mm 重量：約380kg

主仕様

最高使用温度	2200℃（WCF:真空/不活性ガス WMF:真空/不活性ガス/還元ガス）
有効加熱範囲	*モデルによる（上記装置ラインナップ参照）
ヒーター	CCコンポジット/タングステン面状ヒーター 2inch〜8inch
断熱材	グラファイト（WCF）, タングステン/モリブデン多層（WMF）
熱電対	Cタイプ（タングステン・ロジウム）Bタイプ（白金・ロジウム）
温度調節計	PIDプログラム温度調節計 (理化工業製 PF900)
真空ポンプ	ロータリーポンプ（標準Edwards社製 RV12）
電源	200V 3相 50/60Hz 8KVA+4.8KVA（WF-8inch-Dual zone型参考値）
到達真空度	1x10-5Torr
オプション	ターボ分子ポンプ, 油拡散ポンプ, ドライポンプ, ケミカルポンプ
	特注ウエハーホルダー, ウエハートレー
	温度記録計
	放射温度計（*別途設置条件等要協議）
	Windows PC + モニター + キーボードスライドテーブル, 備品収納ラック解析ソフトウエア, シリアル通信タッチパネル

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8inch Wafer Tray

Hot Zone_CCC 8inch

RKC-HA900 PID温度調節計

Process Control

MiniLab-WF-Workstation