シリーズ最小26ℓ容積,Φ305mm(内径)x350(H)mmの小型チャンバーで構成されたコンパクトシステム。小型ながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材）,RF/DC兼用マグネトロンスパッタ,ドライエッチ,アニールの中から組合せが可能。RF/DCエッチ・アニール専用機の「026-エッチ・アニールステーション」,チャンバー部をグローブボックスに収納した「026-GBグローブボックスシステム」もラインナップ。

60ℓ容積,400(W)x400(D)x400(H)mmボックス型チャンバーで構成されたMiniLab-060は,抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材）,EB蒸着,RF/DC兼用マグネトロン式スパッタ,ドライエッチ,CVD,アニールなど, 又,デポアップ・ダウン,逆スパッタ,回転・昇降,冷却などのオプション豊富なステージ,ロードロック機構などを組合せて幅広い目的にあわせて組立てることができるフレキシブル薄膜実験装置です。

80ℓ,400(W)x400(D)x570(H)mm,D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は,060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く,大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上。LL機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材）,EB蒸着, RF/DC兼用マグネトロン式スパッタ, ドライエッチ, CVD,アニールなどの幅広い目的に対応。

大型80ℓ大容積チャンバーを作業ベンチ内に収納したMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用したスライド開閉式チャンバーを採用。080同様多目的な薄膜実験に対応, プロセス処理後の試料を大気・水分に露出せずグローブボックス内の管理された環境内で一貫した処理ができます。メンテナンスを考慮し背面からもアクセス可能な前面・背面開閉式チャンバー。GB, ガス精製機は添付仕様書参照下さい。

MiniLab-125は, 125ℓ大型大容積チャンバー：500(W)x500(D)x650(H)mmにシリーズ全てのオプションの搭載可能。研究開発から小規模生産までカバーするシリーズ最上位フラッグシップモデル。連続多層膜・同時成膜・ロードロックシステムなどのオプションが豊富。TE4金属蒸着源x4極, LTE有機蒸着源x4源, マグネトロンx最大6源, 電子ビーム 7cc x 6, 4cc x 8, 10KW電源, などから自在に組合せ可能。

OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン・2D材料（遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料）などの成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。MiniLab-026/00-GBでは、PCD/CVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省スペース環境で実現。