抵抗加熱式 金属材料蒸着源
TE1（1電極式）
TE2（2電極式）
TE3（3電極式）
TE4（4電極式）
水冷電極式抵抗加熱蒸着源。蒸着ソース・シャッター・水晶膜厚モニター等を設置したベースフランジごと着脱・メンテナンスができるMoorfield社考案の"System-on-flange"に対応。
●TE1：1電極式 最大電流400A
●TE2：2電極式 最大電流100A 直列配置・放射位置配置
●TE3：3電極式 最大電流100A 直列配置・放射位置配置
●TE4：4電極式 最大電流200A 直列配置・放射位置配置
TE1-Box（ボックスシールド式）
ボックスシールド付蒸着源。タングステン・モリブデン、又はタンタル製のボート・フィラメント・ロッドなどに対応、コーティングも可能。蒸着材を簡単に交換でき、又、ボックス開口部により指向性を制御し、効率良く材料を基板に堆積させることができます。
抵抗加熱式 有機材料蒸着源
LTE1 有機物蒸着源
高精度での低温（600℃以下）が求められる有機材料薄膜用途に開発されました。安定した温度制御、応答性にも優れた有機物用蒸発源です。水晶膜厚モニタとの組合せで、PID自動ループ制御で、膜厚±0.1Åの高精度膜厚制御が可能。
マグネトロン式スパッタリングカソード
MAG series マグネトロンカソード
Moorfield社製スパッタリングカソード。高真空対応、メンテナンス性にも優れたマグネトロン式カソードです。RF, DC, パルスDCに対応、クランプリング作用のためボンディング不要・ターゲットの交換も容易。磁性材用高強度マグネット、チムニーポート、ガスインジェクション、シャッターなどのオプションが豊富です。
電子ビーム蒸着源
電子ビーム銃
超高真空対応 回転型電子銃を採用。
・7cc x 6pocket, 又は4cc x 8pocketのるつぼ
・自動/手動式回転インデクサーモジュール
・EB電源：3KW, 5KW, 10KW
・ビーム偏向：270°
・X-Yスイープ
基板加熱ステージ
Φ4〜Φ8inch基板加熱ステージ
Φ4inch〜Φ8inchまでの高温基板加熱ステージ
使用雰囲気により3種類のヒーター素線オプションを用意
● ハロゲンランプ：Max500℃（真空中・不活性ガス中）
● C/Cコンポジット：Max1000℃（真空中・不活性ガス中）
● C/Cコンポジット+SiCコート：Max1000℃（真空中・不活性ガス・O2）
