洗練されたソフトウエア 'Intellidep'
MiniLab制御ソフトウエア
直感的操作・洗練されたソフトウエア "Intellidep"
難しい設定はなく、どなたでも操作いただけます。
・7inchタッチパネル（又はWindows PC）で簡単操作
・成膜条件設定、フィルムレシピ登録（最大30）読込
・真空引き〜ベント自動シーケンス
・MFCガス流量・圧力設定
・システムログ解析、グラフ表示、データ出力管理
※HMIをPCに変更する場合、又、CSV等のデータ出力操作必要な場合にはPCソフト'Intellinet'が必要となります。
薄膜コントローラー SQC-310, SQM-160
Inficon社製 薄膜コントローラーSQC-310, SQM-160との組合せにより、より高度な成膜制御が可能。2ch又は4chセンサ入力、多数のマテリアルデータ、膜厚制御が可能です。
・多数のマテリアルデータをプリセット
・正確な膜厚制御（膜厚センサ+PID自動ループコントロール+自動シャッター開閉）
・高度な成膜プログラムの作成
・最大1000レイヤー、50レシピの登録
MiniLab seriesの操作インターフェイスは標準で7inchタッチパネル、オプションでラップトップPC（Windows PC）操作のいずれか選択いただけます。
プラズマ スイッチングユニット
RF/DCプラズマスイッチユニット
複雑なプラズマ電源の分配・設定を容易にします。
・2電源入力（Max RF600W, DC2KW）
・4出力
・手動（HMI-7"タッチパネル）、自動制御（SQC-310）
本器は、MiniLab-PVDシステムで用いられるRF/DC電源（2入力）を、4回路（カソード、ステージ）へ分配するスイッチリレーユニットです。本器の操作はHMI-7"タッチパネルIntellidepソフトウエアの設定を自動的に調整し分配します。ユーザーによる複雑な電源設定操作を必要としません。
ファスト・ベント・モジュール（*オプション）
◉ 通常約30分のベント時間を6〜10分に短縮するオプション機能です。
" 2 in 1 " system
2 in 1 system
2モジュール混在、装置1台のスペースで2種類の成膜実験
研究室の限られたスペースを有効活用します。
2種類の成膜を1台分のスペースで利用することができます。
MiniLabフレキシブルシステムではチャンバー内に異種ソースを混在させることができます。同時使用せずとも、豊富なベースポートを利用してソースを組込、19inchラックシステムに制御機器を設置すれば、場所を取らない2in1システムを構築することができます。
抵抗加熱蒸着 + マグネトロンスパッタリング
●抵抗加熱蒸着源TE1-BoxとΦ2"マグネトロンの同時設置事例
加熱ステージ + RIEエッチング
●加熱ステージ：Φ4〜Φ8inch、3種類のヒーターオプション
・ハロゲンランプ Max500℃（真空中、不活性ガス中）
・C/Cコンポジット Max1000℃（真空中、不活性ガス中）
・C/Cコンポジット+SiCコート（真空・不活性ガス・O2）
●RFバイアス：Φ4〜Φ8inch Max600W RIEエッチング
MiniLab seriesの操作インターフェイスは標準で7inchタッチパネル、オプションでラップトップPC（Windows PC）操作のいずれか選択いただけます。
グローブ・ボックス組込（*オプション）
◉ MiniLab-026, -090-GB system
MiniLab-GBモデルカタログダウンロード
 MiniLab-026チャンバーMiniLab-026チャンバーを作業ベンチ内に設置。コンパクトなクラムシェル開閉式の為、作業ベンチ内で基板・材料の交換が容易に行えます。 |
 090スライド開閉チャンバースライド開閉式ドアによりベンチ内にチャンバーを収納可能とし、チャンバー内基板・材料・ソース類へのアクセスを容易にします。 |
 090-GBシステム背面090チャンバーは背面もスライド開閉の為、裏側からのチャンバー内アクセスが可能。容易にメンテナンスを行うことができます。 |