セラミック・トップ・ヒーター
 2inch-グラファイトヒーター Max1300℃
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 2inch NiCr素線ヒーター Max850℃
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 3inch NiCr 水冷ハウジング Max850℃
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 1inch CCCヒーター Max1600℃ 水冷ハウジング
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 8inch NiCr Heater Max800℃
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 1"_1700℃ヒーター
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 2"_1800℃ヒーター
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 4" Halogen lamp 800℃
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 4" Halogen lamp 800℃
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 4" Halogen lamp 800℃
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 ハロゲンランプ加熱ステージ_RFバイアス/回転
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 角型グラファイトヒーター_1x1.7m
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 角型C/Cコンポジットヒーター
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 PBN/PG/PBNヒーターステージ
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 PBN/PG/PBNヒーターステージ
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 1000℃_RFバイアス 基板回転ステージ
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 8" グラファイトヒーター
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 8" オールグラファイトヒーター
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 8" オールグラファイトヒーター
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 オールグラファイトヒーター 傾斜式
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 PBB/PG/PBNヒーターステージ 角型
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 2"タングステンヒーターエレメント
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 2"タングステンヒーターエレメント
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 2" グラファイトヒーター トッププレート無し
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 2"_SiCコーティングヒーター 1000℃
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SHシリーズ 基板加熱ヒーター
 Custom Heater-4inch Max850℃
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 2.1inch Inconel 基板回転 Max850℃
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 4.1inch Inconel Heater Max850℃
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 Custom Heater-1.6inch Max850℃
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 2.1inch Inconel 基板回転-2 Max850℃
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ヒーターエレメント
 2inch SiCコーティングエレメント
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 CCC element
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 Graphite element
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 1inch 円筒状ヒーター Max1000℃
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 5inch 円筒状ヒーター Max1600℃
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ホットステージ
 4inch 1200C Hot Stage
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 4inch 1200C Hot Stage-2
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 2inch 800C Hot Stage
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 Hot Stage：ウエハーホルダー
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 2inch Hot Stage RF bias
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ヒーター温度制御ユニット, 他
 Heater Controller
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 19inchラックマウント式コントローラ
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 ハロゲンランプヒーター
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