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| ベルジャー |
ガラス（Pyrex）又は SUS304 Φ304 x 350H mm ベースプレート着脱式
*TallベルジャーΦ305 x 500(H)mmオプション |
| 真空排気系 |
ターボ分子ポンプ 260ℓ/sec, ロータリーポンプ 8㎥/hr
PLC自動真空/ベントシーケンス制御
冷陰極式 ピラニーゲージ MPG400（Inficon社） |
| 到達圧力 |
5x10-5Pa |
| 抵抗加熱蒸着源 |
最大4点（Model. TE1 x 2, もしくはTE4 x 1） |
| 有機蒸着源 |
最大3点 |
| カーボン蒸着源 |
1点（オプション） |
| スパッタカソード |
1点（オプション） |
| 付属部品 |
基板/ソースシャッター, SUS製防着容器（スライド式ビューポート付）, 予備ポート（合計Φ27mm x 12箇所） |
| 成膜手動制御 |
NVPS型蒸着電源コントローラ : NVPS-2(2ch) or NVPS-4(4ch) ソースセレクタ, 電流電圧出力調整 |
| 成膜自動制御 |
同時/連続成膜制御 Inficon社製 SQC310 2チャンネルシーケンシャル自動成膜コントローラ |
| 膜厚モニタ |
Inficon社製 Q-Pod膜厚モニタ 専用ソフトウエア, 水晶振動子 |
| ユーティリティ |
電源200V ３相 50/60Hz 13A, 水冷3ℓ/min, N2ベントガス0.1Mpa |
| オプション |
基板加熱500℃, ペルチェ冷却, 基板回転, RF/DCバイアス印加,
上下軸昇降高さ調整, ドライポンプ , 他 |
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M307_Tall bell jar 500(H)mm
Tall BellJar *Option
